故障一：黑屏。
造成黑屏的原因一般來說電源出故障的幾率最高，因此先確定電源是否正常。頻譜儀普遍采用開關電源，可利用開關電源的一般檢修方法進行排除修復。若電源無問題，還有比較常見的原因是高壓電路故障，在這里著重介紹一下頻譜儀的液晶顯示屏，液晶顯示器發出的來光是它內部燈管發出的，燈管特性類似于家用日光燈，但它正常工作時需要400～800 V的高壓，若燈管不亮，就先用高內阻萬用表測試高壓是否有故障，若高壓正常，則更換燈管；否則就是高壓逆變電路故障。
故障二：已保存的測試數據在使用時無法調用。
頻譜分析儀具有對測試的頻譜數據結果進行保存和隨時調用功能，如果已保存的頻譜數據無法調用，主要原因是由于頻譜儀數據存儲空間的限制，當存儲文件數據超出存儲空間時，新數據就無法再保存進去，因此雖然文件顯示已保存成功，但文件列表中并沒有記錄，造成無法調用，這時必須將原有的舊文件刪除，保存的頻譜數據調用就能正常。
故障三：開機后自檢不過。
現代頻譜分析儀都帶有微處理器，其自身對故障可進行診斷，在檢修時可充分利用其這個功能，便于快速判斷故障出處。若自檢不過，根據出錯提示信息，大致可判斷問題所在，再對相關電路原理進行分析，能夠比較快的找到故障點，然后采取相應的措施排除故障。本人曾遇到過兩次自檢不通過故障，依據自診斷提示，一次是第二變頻電路中的集成塊損壞，另一次是峰值檢波電路中有斷線所致。
故障四：全波段信號測試幅度不準確。
對此故障的診斷最好用分段排除法，即用一臺合適的微波信號源作為被測信號，再用一臺頻譜儀作為測試儀，從信號輸入端開始，對每一級電路輸入信號和輸出信號的幅度進行測試，查找反常現象，判斷故障出處。若步進衰減器故障，一般情況比較常見的原因是由于衰減器觸點接觸不良或模塊損壞，導致插損異常，引起測試幅度不準確，解決辦法是清潔觸點進行修復或者更換模塊。要是本振電路故障，可在本振電路的參考環、取樣環、耦合器、隔離器、放大器等端口進行檢查測試，對損壞的器件進行更換修復，必要時更換整個部件。而對于變頻器常見故障是變頻器件損壞或者是信號傳輸故障，用清理虛焊點和調諧耦合電容方法可排除信號傳輸故障。
故障五：GPIB不工作。
首先檢查GPIB電纜的連接是否正確以及電纜的好壞，再查看GPIB地址的設置有無問題。在出廠時，頻譜儀地址均有設置，一般在“配置”菜單的“頻譜儀地址”中查看GPIB地址。
故障六：2.95 GHz以上信號不能測試。
2.95 GHz以上頻率屬于高頻段信號，由于低頻段測試正常，說明步進衰減器、第二、三變頻器和后續電信號處理各個電路均正常，那么通過原理框圖可得出判斷，此故障產生的原因可能有二個：射頻開關故障、第一變頻器的諧波混頻器故障。若射頻開關自身損壞更換射頻開關即可，若是射頻開關驅動電路故障造成不能轉換，則檢修方法同一般電路的是同樣的。用此分析方法同樣可檢修低頻段故障。
