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布魯克ContourGT-X3白光干涉儀常見故障及檢修方法
【作者】:YX 【發布時間】:2023-9-13 【來源】:上海仰光電子科技有限公司
布魯克ContourGT-X3白光干涉儀維修

布魯克ContourGT-X3白光干涉儀常見故障及檢修方法

1、干涉環不圓正

原因:

(1)分光板膜層面反向。

(2)兩組出射光瞳錯位。

(3)分光板、補償板、移動鏡及參考鏡有壓應力。

檢修方法:分光板膜層應是入射光的第二面,如裝在第一面,則調出的等傾干圓涉環是直的橢圓形干涉環,可旋松分光板的三只寬頭螺釘,取出分光 板,反過180°重新裝入金屬框內,把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調整請參考故障檢修方法。分光板,補償板的寬頭螺釘,移動鏡及參考鏡的調節滾花螺釘壓緊力過大,使各鏡片逐步變形產生等傾干涉圓環不規則,適當放松過緊的螺釘即可消除。

2、讀數空位大于 0.03mm

原因:

(1)傳動螺母和絲桿的配合間隙大。

(2)拖板體下面的頂塊間隙偏大。

(3)檔板與導軌配合過松。

檢修方法:可先調整頂塊間隙,拖板體在工作狀態下旋松頂塊螺釘,左手大拇 指將拖板體向讀數頭方向輕推,中指壓緊頂塊,然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達到要求,調整檔板與導軌的間隙達 0.02mm,再調節傳動螺母上 的兩只螺釘(老產品有四只)。

3 轉動粗動手輪時拖板不走。

原因:

(1)儀器受強烈沖擊后,絲桿向尾架方向脫出,造成讀數頭嚙合齒輪錯位。

(2) 傳動小齒輪固緊螺母松動, 造成傳動小齒輪與絲桿打滑。

(3)大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。

檢修方法:首先檢查粗動手輪壓緊螺母,然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出,如已脫出,可松動尾架三只螺釘,一面將絲桿推向讀數頭,一面慢慢轉動粗動手輪,最后旋緊尾架三只螺釘,如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動,先拆去傳動盒蓋,再拆下門字架,固緊螺母,重新依次裝配即可。

4、轉動微動手輪時拖板不走。

原因:

(1)傳動小齒輪壓緊螺母松,使盆形彈簧片無壓緊力,造成蝸輪空轉。

(2)粗微動有脫開機構的干涉儀,蝸桿壓緊彈簧片失靈。

(3)微動手輪壓緊螺母松。

檢修方法:先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋,取下門字架,旋緊傳動小齒輪壓緊螺母,使盆形彈簧片壓緊蝸輪,此時轉動蝸輪應帶動精密絲桿,依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機構,應檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死,可拆 下左右壓塊,清洗、上油(7101 油脂)重新裝配即可,如蝸桿拖板較松,說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小,(1)可拆下彈簧改小 R 增加彈性。(2)調換彈簧片。

5、轉動粗動手輪時,等傾干涉環從中心向外漂移。

原 因:入射的光源不垂直于移動鏡。

檢修方法:此種現象,并非儀器故障,主要是入射的光源不垂直于移動鏡,因多數易誤解為導軌直線性不好所致,故亦在此說明。首先調整干涉儀三只底腳調平螺釘,使儀器基本按放水平,然后調整光源,使擴束激光充滿固定鏡,將移動鏡調至零光程附近,轉動粗動手輪調等傾直條紋,說明擴束激光基本垂直于移動鏡,此時轉動粗動手輪出現的干涉圓環就不會漂移。


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