普法真空ASM310氦質譜檢漏儀開機后不運行故障檢修方法
電源部分故障現象：
故障一、開機后檢漏儀不運行
檢查維修方法：
1.電源插座有無AC220V;
2.電源毀連接是否良好;
3.電源開關是否輸出220V;
4.保險絲是否燒壞
故障二、開機后無顯示
檢查維修方法：檢查到顯示模塊連接線是否松動
機械泵部分故障現象：
故障一、開機后有顯示,機械泵不轉
檢查維修方法：
1.檢查機械泵開關是否開啟;
2.檢查機械泵電源線是否連接可靠
故障二：機械泵響聲不正常
檢查維修方法：
1.檢查機械泵各連接卡箍;
2.檢查檢漏口是否密封;
3.檢查機械泵風扇防護罩是否變形;
故障三、機械泵不OK
檢查維修方法：
1.檢查是否有大漏;
2.檢查機械泵油是否凝固
離子源部分故障現象：
故障一、燈絲不加電
檢查維修方法：
1.檢查分子泵是否啟動完成;
2.檢查離子源插座是否松動
故障二、離子源反復加電
檢查維修方法：檢查離子源插座線序，是否插錯
