離子濺射儀日常使用出現的故障檢察方法：
1.使用一段時間后，濺射電流變小：對靶材有無變色、破裂和油污等現進行檢查，若是靶材變色或破裂，要對靶材進行更換；若是有油污，則用無水乙醇進行清潔，等到干了以后才能夠抽真空；
2.在使用一段時間以后，有著過低的真空：檢查濺射室中或管道內是否有油，可以使用汽油進行清洗；
3.濺射電流不穩定忽高忽低：陰極罩與靶的固定環有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉，對間距進行調整；
4.過低的真空：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊；
5.真空泵出現反油現象：機械真空泵長期保持極限真空。
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維修流程：
1、仰光維修收發部收到儀器后會與貴司確認儀器型號及其完好情況。
2、經過專用檢測儀器檢測其元器件損壞程度后仰光維修將出具詳細報價單，并以傳真或電子版的形式傳至貴司送檢人員處。
3、待仰光維修工程師檢定報價后，若貴司同意報價，請簽字蓋章，用戶接受報價日期將視為維修周期的開始，維修周期一般為接受之日起3-5個工作日(特殊情況另定)。
4、待仰光維修工程師檢定報價后，若貴司不同意報價，仰光維修不收取任何費用，將儀器原封不動寄回貴公司。
5、儀器修復后，若貴司要求送檢，仰光維修可根據客戶需要送檢。
